共用装置 | ARIM, Japan

機器概要

・レーザー共焦点光学系　試料から反射した光が結像する位置（受光素子）の前にピンホールを置くことで、対物レンズの合焦点位置以外からの光を排除。この光学系をセンサーに応用し、合焦位置での受光量を極端に大きくし、合焦位置の変位量（高さ情報）のセンシングを可能にしている。またこれを顕微鏡に応用し光学顕微鏡と比べてフレアのないコントラストの良い画像を得る。このレーザー共焦点光学系に高速XYスキャナーを組み合わせることで高解像度の合焦画像と試料の高さ（形状や荒さ）に関するデータを取得。

メーカー	キーエンス
型番	VK-X100
装置番号	YG-003

利用料金

(単位：円/１時間)

ARIM（利用報告書有）	使用種別	学術機関	企業
データ提供有	機器利用	600	900
	補助・代行	1,300	1,800
データ提供無	機器利用	1,100	1,500
	補助・代行	2.100	3,100

ARIM以外	使用種別	学術機関	企業
成果報告書無、データ提供無	機器利用	1,300	1,900
	補助・代行	2,700	3,800

装置担当者

担当者	工学部教授　杉本　昌隆
HP, 紹介動画等	山形大学杉本研究室